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產(chǎn)地	國(guó)產(chǎn)	加工定制	否
質(zhì)保	1年	環(huán)境溫度	0-55℃

SCMFM系列微小氣體流量計(jì)技術(shù)參數(shù)：

2.1 測(cè)量介質(zhì)：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）

2.2 流量范圍：DN3 30-300ml/min

DN6 60-600ml/min

DN8 80-800ml/min

DN10 100-1000ml/min

注：

a)以上流量的測(cè)量介質(zhì)為空氣而言；

b)以上流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)20℃，101.325kPa。

c) 每個(gè)口徑量程范圍均可擴(kuò)大

d)特殊需要可單獨(dú)標(biāo)定

2.3 流量測(cè)量準(zhǔn)確度：±1.5%FS；±2.5%FS

2.4 工作溫度范圍：0-55℃；

2.5 工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa

2.6 供電電源：24VDC±10%；

2.7 輸出信號(hào)：4-20mA，RS485通訊；

2.8 環(huán)境溫度：0-55℃；

2.9 顯示位數(shù)：瞬時(shí)流量為三位，累積流量10位。

SCMFM系列微小氣體流量計(jì)工作原理：

uf感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作，保證傳感器的高度*，解決了：“現(xiàn)在傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)無(wú)法保證其傳感器的電阻值的*性，導(dǎo)致傳感器在各個(gè)法線方向熱傳導(dǎo)速度的差異，所以傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)在傳感器校準(zhǔn)和使用過(guò)程中產(chǎn)品穩(wěn)定性存在問(wèn)題，實(shí)際應(yīng)用中的熱式質(zhì)量流量計(jì)價(jià)格昂貴，大規(guī)模應(yīng)用比較難"的問(wèn)題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質(zhì)量流量計(jì)，同時(shí)可靠性穩(wěn)定,安全性更好。

在芯片上，一個(gè)微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導(dǎo)，使動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間大大提高。當(dāng)傳感器工作時(shí)，微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差（通常是70℃），在芯片周圍形成固定的溫度場(chǎng)分布。如果氣體是單向流動(dòng)，則在氣道中溫度場(chǎng)可用下述公式來(lái)計(jì)算：

[微小氣體質(zhì)量流量計(jì)]

式中：氣體流動(dòng)方向?yàn)椋?，速度為ｖ，ａ為擴(kuò)散率。

如上圖（式）所示，當(dāng)氣體流過(guò)芯片時(shí)，將會(huì)帶走熱量，通過(guò)質(zhì)量流量qm和電壓V的對(duì)應(yīng)關(guān)系來(lái)計(jì)算流體的質(zhì)量流量。

機(jī)械尺寸